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在器件批量生產之前,充分了解制造器件所涉及的工藝至關重要,這就要求對制成中每個工藝下納米甚至原子尺度的器件的化學和結構信息了然于心。能譜分析(EDS)和電子背散射衍射(EBSD)技術的發展,提供了一種可以快速、準確地了解制造工藝。

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