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2023年8月20-22日，“2023中國真空技術與半導體應用大會暨半導體真空設備與零部件高端論壇”將于上海張江科學會堂（上海市浦東新區海科路1393號，地鐵13號線學林路站1號口，步行420米）舉辦
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