福利一区二区三区视频播放观看,人人做天天爱一夜夜爽,爱搞视频在线导航,亚洲中文字幕精品一区二区三区,欧美性xxx极品hd高清,亚洲一区二区三区在线观看视频,超级黄色高清顶级无毛口交片,天天舔天天日天天射

主頁 /產(chǎn)品介紹/A300P

A300P（單片式）

應(yīng)用于Mini/Micro LED, OLED, Power Device, VCSEL, Wafer Optics

概述

應(yīng)用于Mini/Micro LED, OLED, Power Device, VCSEL, Wafer Optics

12寸（兼容小尺寸）晶圓工藝腔體

高深寬比基片上實現(xiàn)優(yōu)質(zhì)的薄膜覆蓋率

ICP離子源、Loadlock等模塊化配置

可沉積薄膜：氧化物、氮化物、氟化物、金屬單質(zhì)、摻雜膜、疊層膜等，適用于高校研究所及企業(yè)研發(fā)部門的多種開發(fā)需求

相關(guān)參數(shù)

沉積薄膜 氧化物、氮化物、氟化物等 晶圓尺寸 300mm 最大裝片量 1

特點及優(yōu)勢

工藝溫度：

70℃ – 300℃

ALD 性能：

12寸（兼容小尺寸）晶圓工藝腔體

高深寬比基片上實現(xiàn)優(yōu)質(zhì)的薄膜覆蓋率

ICP離子源、Loadlock等模塊化配置

可沉積薄膜：氧化物、氮化物、氟化物、金屬單質(zhì)、摻雜膜、疊層膜等，適用于高校研究所及企業(yè)研發(fā)部門的多種開發(fā)需求

高潔凈度的傳片和無particle的鍍膜方案，可保證鍍膜過程中的基板表面潔凈度

裝片方式：

可loadlock自動裝卸基片

相關(guān)產(chǎn)品

Copyright ? 2023 光馳半導(dǎo)體技術(shù)（上海）有限公司 滬ICP備2023009503號-1   滬公網(wǎng)安備31011302007876